第502章 芯片技术的新瓶颈（1 / 2）

黎明光学研究技术中心。

方光圻教授面对最新的步进式光刻机项目的困境，眉头完全皱在了一起。

“屠教授，我们的光学物镜系统现在还是不能达标，问题究竟能不能依靠我们自己解决？”方光圻教授知道负责光学部份的屠教授团队已经尽力，但是拿出来东西精度仍然没法达到新的2微米级别光刻机l-100样机的需要，这台以gca的步进式光刻机dsw4800为蓝本的样机。

任重已经给大家带来了相当充分的设计资料，对于原理及原理的论证早就完成了，甚至也完成了3微米样机l50的开发，成功投入到现实的生产中，把8080芯片的生产良品率提升了一个新的高度，直接把芯片成本打下了一个数量级，从几百美刀级别降低到了几十美刀。

而且用l-50光刻机生产出了更加复杂的8086和8088芯片。

但是在进一步提升的过程中，这套系统却很难稳定达到2微米的加工级别。

而按照芯片设计研究中心那边的设计，下一代芯片80286需要采用2微米以下的新工艺设备才能生产，按照设计工程师的初步估算，新型cpu芯片的晶体管数量已经从8086的2.9万个膨胀到了空前惊人的13万个以上晶体管。

这就逼迫光刻机研究不得不进一步挖潜。

“方教授，从我们目前的光学技术能力来说，现在要进一步提升难度已经非常大了，虽然我们不想承认，但是事实上现在的光学物镜已经是我们技术的极限，如果要进一步提升，恐怕只有用时间来慢慢打磨提高了，在这方面相比蔡司这些顶级光学公司来说我们的起步基础实在太差了。”屠教授是从三德子归国的人员，曾经在三德子的蔡司工作过。

正因为广揽天下人才回来，方光圻领导的光学研究所才会快速扩张发展成为黎明光学研究技术中心这样一个数千人的大研究机构，并且从单纯光学设备研究开始承担起来几代光刻机的研究任务。

从最初的接触式光刻机开始，到发射式光刻机的研究，方光圻这一生才走了一半多一点，他们就已经走到了这个星球光学设备研究的巅峰。

然而这一切都是靠着任重直接开挂，将设备最为核心的设计问题拿出来后，他们按照这些设计努力去实现。

现在走到了极致状态后，曾经具有的一些短板就体现出来了。

虽然说光刻机光学镜头的制造原理并不复杂，但要做出超高精密度的光刻镜头，在技术和工艺两方面均有非常大的难度。在技术方面，大数值孔径（na）的技术难度非常高，需要基于双高斯结构设计组合出20枚左右的镜片，还要做到分摊球差、平衡场曲、抵消畸变。此外，为保障晶圆图案的质量，光刻机中每一块透镜的位置误差都必须小于1nm，同时还要能尽量消除光损失产生的热量。

在工艺方面，光刻机所要求的镜面光洁度非常高，需要采用精度最高的打磨机和最细的镜头磨料，这些除了在材料方面要求外，还要有技术极其高超的老师傅把关才行，因为先进光刻机镜头全部由手工打磨而成，要求高纯度透光以及高抛光。

而在这方面，黎明光学研究技术中心最强的技术师傅就是屠教授，但是在三德子的蔡司，屠教授当初只能算一个普通的加工技术人员，距离公司顶级大师傅还有很长一段距离，何况有些关键技术这些顶尖技术人员并不会传授。

“屠教授，我们要想快速达到设计指标，按照你的想法，我们是否需要同蔡司这样的光学巨头合作，让他们按照我们的要求设计制作这套光学物镜系统？”方光圻教授沉思一会儿后问道。

屠教授有些秃然的苦笑道，“目前恐怕只能如此了。”

方光圻点了点头，下定了决心。

任重对于方光圻的国际合作请求毫不迟疑进行了批准。

在一个晴朗的上午，位于巴登-符腾堡州的奥柏科享市迎来了一场重要的商业接待活动。

随着一辆黑色轿车的缓缓停驻，东大方光圻教授及其随行团队准时出现在了这座充满历史韵味的小镇。蔡司公司的总裁卡博特先生早已在市中心那座标志性的办公楼前等候多时，他身着笔挺的西装，面带微笑，显得既庄重又热情。

“方教授，非常荣幸能在奥柏科享迎接您的到来。”卡博特总裁亲自上前，伸出手与方光圻教授紧紧相握，他的声音中充满了诚挚与期待。这一刻，不仅是对个人情谊的尊重，更是对即将展开的合作可能性的高度重视。

这次接待的背后，隐藏着一段不平凡的筹备过程。数日前，从国家外交部门传来的一则消息，让卡博特总裁格外振奋。虽然东大方面在外交场合上并未透露具体的合作细节，但那份明确表达出的希望与蔡司建立深度战略伙伴关系的意愿，无疑为蔡司寻找新的增长点带来了前所未有的机遇。卡博特深知，东大的到访绝非仅仅为了采购几台望远镜那么简单，背后必然蕴含着更为深远的意义和合作潜力。

在简短而温馨的寒暄之后，方光圻教授向卡博特总裁介绍起了自己的团队：“非常感谢您的热情接待，卡博特总裁。我身边这位是屠教授，他过去有幸在蔡司这家享有盛誉的公司工作过，对蔡司的技术与文化有着深厚的感情和理解。”屠教授微笑着点头致意，卡博特听到这个信息，脸上笑容更盛，上前紧紧握住屠教授的手里，“欢迎屠教授！”

屠教授的这一段过往经历无疑为双方的合作增添了几分亲切与信任。

两天后，重新会聚在会议室后。

双方寒暄后的气氛有些微妙起来。

“方教授，屠教授，二位久等了，希望我们的巴登符腾堡的美酒佳肴能稍许缓解俩位的旅程劳累。”卡博特总裁嘴角带着一丝微笑。

不过在方光圻教授看来，在这微不可查的笑意开场白中带着几分试探。

“我们的技术团队经过两日不眠不休的审阅与研讨，对于贵方提出的光学物镜系统设计方案与严苛要求，我们得出的结论是——可行。”卡博特话锋一转，直击要害。