第112章 接近式光刻机(2 / 2)
“也许只需要一个很小的改进,它就能大幅度提升良品率了。”
王浩然这里嘴上说的只是个小的改进,其实吧,真要改动起来,是需要大动干戈的。
王浩然想要把接触式的光刻机改成接近式光刻机。
所谓接近式光刻机,掩膜版与晶圆之间并不真正接触,而是有了一个非常小的距离。
这个距离只有几个微米,这就可以使得掩膜版和硅片不会直接接触,进而降低了损坏的风险。
王浩然将自己的想法这么一说,张勇存还没说啥呢,刘中友和吴极都是大摇其头。
刘中友说:“浩然同志啊,那么小的距离,人工是没办法操作的。”
“除非设计一个精巧的机械装置。”
“但要设计这样一个机械装置,很难。”
吴极也说:“这个设想,咱们也有过,不过,因为无法实现,就最终放弃了。”
张勇存笑道:“吴工,刘工,伱俩也别先忙着否定,好不好?”
“浩然同志既然都这么说了,那没准他就有办法解决。”
吴极抓了抓自己的头发,有点儿不好意思地说:“我忘了浩然同志比咱们聪明太多这茬儿。”
“浩然同志,你打算怎么改进,咱们给你打下手。”
王浩然说:“我先画个设计图,干脆的,咱们就在试验车间里重新搞一台全新的光刻机出来,怎么样?”
张勇存点头道:“没问题,咱们全力支持!”
“您这可是在帮咱们的忙啊!”
于是,接下来,王浩然就先把接近式光刻机的设计图给画了出来。
设计图好画,但有些技术却是不容易达到的。
王浩然要让这台光刻机拥有一定的自动化规范化的生产能力。
那就需要给它搞个中控电脑。
这样的话,王浩然就要先设计处理器芯片,再搞一款传感器芯片。
他还要编写一个简单的控制程序,让这个程序来自动驱动机器完成曝光这个工作。
至于设备的加工,也是需要他亲自参与,亲力亲为的。
就这么地,王浩然在742厂待了足足二十多天,这才总算是把一台接近式的光刻机给搞了出来。
这台光刻机其实就是先凑合一下。
它设计简单,制造也简单。
当然,它也只能曝光跟掩膜版同样大小的晶圆。
这样的光刻机,目前在国际上也是已经有点儿落伍了。
接近式的光刻机造出来之后,已经是到了1978年的4月底了。
试验车间里,742厂的骨干技术人员和高管几乎都在。
他们看着眼前这台已经跟目前厂内使用的主力曝光机外形迥异的机器,都有点儿兴致勃勃。
当然,他们还有点儿忐忑。
他们不知道这台机器到底怎样,会不会更加好用一些。
“浩然同志,现在,咱们可以尝试着生产你之前设计的那款处理器芯片了吧?”张勇存笑着说道。
王浩然点点头说道:“可以的!”
“咱们费了那么大的劲儿总算是搞出来一台新机器,现在,是骡子是马,要拉出来遛遛了。”
王浩然内心此刻倒是自信满满。
因为,这台机器造得很完美。
造出来之后他就测试过了,还是相当好用的。
这台光刻机,他甚至连光源都做了改进,原本国内的光刻机都用的是汞灯来做光源。
而他在这台接近式光刻机上使用了一种全新的led阵列光源。
这种光源比之前使用的汞灯要好了不是一点半点。
当然,如果没有国家的支持,有很多材料目前是不容易找到的。
于是,接下来就开始测试新的光刻机。
在测试的过程中,王浩然和刘中友亲自操作。
刘中友只是打下手。
新的光刻机的工作表现让刘中友感到震惊。
因为,这台光刻机大量减少了需要人力操作的步骤。
响应速度快,曝光效果好。
而且,掩膜版也真的避免了被污染。
测试的时候,742厂的其他技术骨干和高管就在一旁围观。
他们所有人都被震惊了。
因为,这台新发明的光刻机显然要比老光刻机厉害了太多太多!
生产效率直接几何倍数的提升。
张勇存感慨地对吴极说道:“我觉得咱们之前的光刻机简直就是一堆工业垃圾!”
“也难怪咱们过去的良品率那么低了。”
既然要把8086处理器芯片给造出来,那当然就得在光刻之后做其他后续工序的处理。
这些工序加起来又用了好几天的时间。
到了4月中旬左右,第一批8086处理器芯片总算是完成了。
完成之后就是测试。
测试的结果显示,这块处理器各种参数十分惊人!
整个742厂轰动了。
张勇存高兴坏了。
因为,这是一下子搞出来两项重大发明啊!
张勇存就跟王浩然商量:“浩然同志,新的光刻机咱们很需要,这个成果是你为主搞出来的,能否在上报的时候,也加上我们742厂这边技术人员的名字?算是咱们742跟京城工业学院一块儿的合作成果?”
王浩然笑着说道:“当然没问题!”
“这台光刻机能够诞生,也离不开张厂长和各位742厂同志的帮助呀!”
王浩然答应得十分爽快。
因为,人家的确是帮了很多忙嘛!
张勇存大喜过望,他搓了搓手,说:“谢谢浩然同志!”
“那咱们就把这个成果上报了,你是成果的主要发明者,其他人都是辅助合作伙伴。”
王浩然说:“那就按您的想法办吧。”
张勇存说:“这台光刻机非常好,我们想要委托机械厂替我们多生产几台,这里也跟您说一声。”
王浩然自然是也答应了。
在他看来,8086处理器比那台光刻机可是厉害太多了!
这个成果必须得自己独有,然后还要面向全世界宣布!
(本章完)
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